קאָנטראָל פון דרוק דעפאָרמאַציע אין לאַמינאַציע פּראָצעס פֿאַר אַולטראַ-דין קאָר (

2025-04-16

1.קערן טשאַלאַנדזשיז

אולטרא-דינע קערנס (איי סיאלע פראבלעמען בעת ​​לאַמינאַציע:

• טערמישע דרוק: CTE נישט-גלייַכגילטיקייט געפֿירט דורך טעמפּעראַטור גראַדיענטן;

• מעכאנישער דרוקנישט-איינהייטלעכע דרוק פארטיילונג;

• רעזידועל סטרעס: רעזין שרינקינג און עלאַסטיש אָפּזוך;

• צווישן-שיכט גליטשרייַבונג מיסמאַטש ביי קערן/קופּער-פּרעפּרעג אינטערר.פ.אסן.

2.טעמפּעראַטור קאָנטראָל

• מולטי-זאָנע דינאַמישע הייצונג:
  אומאפהענגיקע טעמפעראטור קאנטראל (±1°C) איבער לאמינאציע זאנעס. פאר קופער-הארץ-פרעפּרעג סטאקס, שטעלט די קערן טעמפעראטור 5°C העכער ווי קופער צו קאמפענסירן CTE.

• ראַמפּעד טערמאַל פּראָופיילז:
  הייצונג/קילונג ראַטעס ≤3°C/מינוט און ≤2°C/מינוט, ריספּעקטיוולי. שפּיץ טעמפּעראַטור ≤Tg+20°C פֿאַר נידעריק-Tg מאַטעריאַלן (למשל, FR-4).

3.דרוק אָפּטימיזאַציע

• פּראָגרעסיוו דרוק לאָודינג:
  0.5 MPa (5 מינוט) →1.5 MPa (10 מינוט) →2.5 MPa (5 מינוט).

• דרוק אויסגלייַכונג:
  סיליקאָן פּאַדס (30–50 שאָר A) אדער גראַפיט פּלאַטעס צו באַגרענעצן דרוק וואַריאַציע צו ±5%.

4.מאַטעריאַל אינזשעניריע

• CTE גלייכונג:
  קערן/קופּער CTE אונטערשייד

• אויבערפלאַך אַקטיוואַציע:
  O₂/N₂ פּלאַזמע באַהאַנדלונג (300 וואט, 60 סעקונדעס) rאיי-איי-עסעס ייבערפלאַך ענערגיע צו 50 mN/m פֿאַר בעסער אַדכיזשאַן.

5.וואַקוום לאַמינאַציע פּראָצעס

• וואַקוום קאָנטראָל:
  ערשטיק וואַקוום (10–100 מבאר) פֿאַר מאַקראָ-פּאָזיטיווע באַזייַטיקונג; הויך וואַקוום (

• רעזין פלוס פאַרוואַלטונג:
  נידעריק-וויסקאָזיטי עפּאָקסי (

6.רעזידועל סטרעס מיטיגאציע

• סימעטרישער סטאַק פּלאַן:
  באַלאַנסירן קופּער גרעב (

• נאך-היילן:
  גראַדועל אָפּקילן (1°C/מינוט) אונטער 0.5 MPa צו באַפרייען עלאַסטישע שפּאַנונג.

7.רעאַל-צייט מאָניטאָרינג

• FBG סענסאָרן:
  איינגעבעטעטע פיברע בראַגג גראַטינגס מאָניטאָר שפּאַנונג (1 με רעזאָלוציע).

• טערמישע בילדער:
  דעטעקטירן הייסע פלעקן (>5°C וועריאציע) פאר דינאמישע אַדזשאַסטמענט.

• לאַזער פּראָפילאָמעטריע:
  נאך-לאַמינאַציע וואָרפּאַדזש

8.פאַל שטודיעס

• פאַל 150μm FR-4 קערן

  • פּראָפיל: 80°C→140°C→50°C (150 מינוט גאַנץ)

  • רעזולטאַטן: קרומקייט רעדוצירט פון 0.5 צו 0.07 מ״מ/מ; שאָלעכץ שטאַרקייט >1.0 נ/מ״מ.

• פאַל 275μm PTFE הויך-פרעקווענץ קערן

  • אַר פּלאַזמע אַקטיוואַציע → 220°C לאַמינאַציע @1.8 MPa

  • רעזולטאַטן: Dk וואַריאַציע

9.אינאָוואַציע ריכטונגען

• נאַנאָ-צעליאַלאָז פֿאַרשטאַרקונגעלאַסטישער מאָדולוס >8 GPa צו פאַרמייַדן רינגקאַלינג.

• לאַזער ייבערפלאַך טעקסטשערינגראַ=1–2 מיקראָמעטער פֿאַר מעכאַנישע פֿאַרשליסונג אויף ראָדזשערס RO3000 קערנס.

• קינסטלעך אינטעליגענץ-געטריבענע דיגיטאַלע צווילינגעןפּרעדיקטיוו קאָמפּענסאַציע פֿאַר פּראָצעס וועריאַציעס.