Usindikaji wa Laser wa Femtosecond kwa Uchimbaji Midogo Usioathiriwa na Joto
1. Misingi na Faida
Leza za Femtosecond (upana wa mapigo ya sekunde 10-15) huwezesha ufyonzwaji usio na mstari kupitia:
-
Ionization ya fotoni nyingi (MPI)
-
Ionization ya Banguko (AI)
Faida kuu: -
Karibu na sufuri HAZ
-
Usahihi wa micron ndogo (mashimo madogo ya 1μm)
-
Inafaa kwa nyenzo za kuakisi/uwazi
2. Utaratibu wa Zero-HAZ
2.1 Udhibiti wa Uhawilishaji Nishati
-
Elektroni- kimiani hakuna usawa
-
Utawala wa mlipuko wa awamu
-
Ukandamizaji wa kinga ya plasma
2.2 Mifano ya Kuondoa Nyenzo
-
Mlipuko wa Coulomb
-
Uvunjaji wa dhamana isiyo ya joto
3. Vigezo muhimu vya Mchakato
Kigezo | Masafa | Utaratibu |
---|---|---|
Urefu wa mawimbi | 343-1030nm | Uboreshaji wa kunyonya |
Nishati ya mapigo | 0.1-50μJ | Udhibiti wa kizingiti cha uondoaji |
Kiwango cha kurudia | 10kHz-10MHz | Uzuiaji wa mkusanyiko wa joto |
Kuzingatia | NA>0.7 | Kupunguza ukubwa wa doa |
Inachanganua | Njia ya ond | Onyesha upya upunguzaji wa safu |
4. Kesi za Maombi
-
Microvia za PCB za masafa ya juu:
-
20-50μm kipenyo
-
Uwiano wa 10:1
-
Ra
-
Uchimbaji wa kioo TSV:
-
Haina ufa/isiyo na taper
-
Mashimo 100 kwa sekunde
-
Usindikaji wa mzunguko unaobadilika:
-
Sehemu ndogo za PI zisizo na kaboni
-
5μm dak. upana wa mstari
5. Changamoto & Suluhu
Changamoto ya 1: Ukosefu wa uthabiti wa nyenzo
Suluhisho: urefu wa mawimbi unaowezekana (343+515nm)
Changamoto ya 2: Ufanisi wa chini wa shimo la kina
Suluhisho: Uundaji wa boriti ya Bessel
Changamoto ya 3: Uthabiti wa uzalishaji kwa wingi
Suluhisho: Ufuatiliaji wa plasma wa wakati halisi + udhibiti wa kubadilika
6. Mbinu za Wahusika
-
Micro-CT: Mofolojia ya 3D
-
Raman spectroscopy: Uchambuzi wa Awamu
-
TEM: Uadilifu wa kimiani
-
Jaribio la upitishaji: Ubora wa ukuta