زيرو هيٽ متاثر زون مائڪرو ڊرلنگ لاءِ فيمٽو سيڪنڊ ليزر پروسيسنگ

1. بنيادي ۽ فائدا

فيمٽو سيڪنڊ ليزر (10-15 سيڪنڊ نبض جي ويڪر) غير لڪير جذب کي فعال ڪن ٿا:

• ملٽي فوٽون آئنائيزيشن (MPI)

• برفاني تودو آئنائيزيشن (AI)
  اهم فائدا:

• صفر جي ويجهو HAZ

• ذيلي مائڪرون جي درستگي (گهٽ ۾ گهٽ 1μm سوراخ)

• عڪاسي ڪندڙ/شفاف مواد لاءِ مناسب

2. زيرو-HAZ ميڪانيزم

2.1 توانائي جي منتقلي جو ڪنٽرول

• اليڪٽران-جالي عدم توازن

• مرحلي جي ڌماڪي جي غلبي

• پلازما شيلڊنگ دٻائڻ

2.2 مواد هٽائڻ جا ماڊل

• ڪولمب ڌماڪو

• غير حرارتي بانڊ ٽوڙڻ

3. نازڪ عمل جا پيرا ميٽر

4. درخواست جا ڪيس

1. هاءِ فريڪوئنسي پي سي بي مائڪروويز:

• 20-50μm قطر

• 10:1 اسپيڪٽ ريشو

• پاسي واريون ڀتيون

2. شيشي جي TSV ڊرلنگ:

• ڪريڪ/ٽيپر کان پاڪ

• 100 سوراخ / سيڪنڊ

3. لچڪدار سرڪٽ پروسيسنگ:

• ڪاربنائيزيشن کان پاڪ PI سبسٽريٽس

• 5μm منٽ. لائين ويڊٿ

5. چئلينج ۽ حل

چئلينج 1: عڪاسي ڪندڙ مواد جي عدم استحڪام
حل: ٽيونبل موج جي ڊيگهه (343+515nm)

چئلينج 2: گهٽ ڊيپ هول ڪارڪردگي
حل: بيسل بيم جي شڪل ڏيڻ

چئلينج 3: وڏي پيماني تي پيداوار جي تسلسل
حل: ريئل ٽائيم پلازما مانيٽرنگ + ايڊاپٽو ڪنٽرول

6. ڪردار نگاري جا طريقا

• مائڪرو-سي ٽي: 3D مورفولوجي

• رامن اسپيڪٽرو اسڪوپي: مرحلي جو تجزيو

• موضوع: جالي جي سالميت

• چالکائي جي جاچ: ڀت جي معيار