शून्य ताप-प्रभावित क्षेत्र माइक्रो-ड्रिलिंगको लागि फेमटोसेकेन्ड लेजर प्रशोधन

१. आधारभूत कुराहरू र फाइदाहरू

फेमटोसेकेन्ड लेजरहरू (१०-१५ सेकेन्ड पल्स चौडाइ) ले निम्न मार्फत गैर-रेखीय अवशोषण सक्षम गर्दछ:

• बहु-फोटोन आयनीकरण (MPI)

• हिमस्खलन आयनीकरण (AI)
  प्रमुख फाइदाहरू:

• लगभग शून्य HAZ

• उप-माइक्रोन परिशुद्धता (न्यूनतम १μm प्वालहरू)

• परावर्तक/पारदर्शी सामग्रीहरूको लागि उपयुक्त

२. शून्य-HAZ संयन्त्रहरू

२.१ ऊर्जा स्थानान्तरण नियन्त्रण

• इलेक्ट्रोन-जाली असंतुलन

• चरण विस्फोट प्रभुत्व

• प्लाज्मा शिल्डिंग दमन

२.२ सामग्री हटाउने मोडेलहरू

• कुलम्ब विस्फोट

• गैर-तापीय बन्धन तोड्ने

३. महत्वपूर्ण प्रक्रिया प्यारामिटरहरू

४. आवेदन केसहरू

1. उच्च-फ्रिक्वेन्सी PCB माइक्रोभियस:

• २०-५०μm व्यास

• १०:१ पक्ष अनुपात

• Ra

2. गिलास TSV ड्रिलिंग:

• क्र्याक/टेपर-रहित

• १०० प्वाल/सेकेन्ड

3. लचिलो सर्किट प्रशोधन:

• कार्बनाइजेशन-मुक्त PI सब्सट्रेटहरू

• ५μm न्यूनतम लाइन चौडाइ

५. चुनौती र समाधानहरू

चुनौती १: परावर्तक सामग्री अस्थिरता
समाधान: ट्युनेबल तरंगदैर्ध्य (३४३+५१५nm)

चुनौती २: कम गहिरो प्वाल दक्षता
समाधान: बेसेल बीम आकार दिने

चुनौती ३: ठूलो मात्रामा उत्पादन स्थिरता
समाधान: वास्तविक-समय प्लाज्मा निगरानी + अनुकूली नियन्त्रण

६. चरित्र निर्धारण विधिहरू

• माइक्रो-सीटी: थ्रीडी आकारविज्ञान

• रमन स्पेक्ट्रोस्कोपी: चरण विश्लेषण

• विषय: जालीको अखण्डता

• चालकता परीक्षण: भित्ताको गुणस्तर