സീറോ ഹീറ്റ്-അഫ്ഫക്റ്റഡ് സോൺ മൈക്രോ-ഡ്രില്ലിംഗിനുള്ള ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗ്

1. അടിസ്ഥാനകാര്യങ്ങളും ഗുണങ്ങളും

ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസറുകൾ (10-15 സെക്കൻഡ് പൾസ് വീതി) രേഖീയമല്ലാത്ത ആഗിരണം സാധ്യമാക്കുന്നു:

• മൾട്ടി-ഫോട്ടോൺ അയോണൈസേഷൻ (എംപിഐ)

• ഹിമപാത അയോണൈസേഷൻ (AI)
  പ്രധാന നേട്ടങ്ങൾ:

• പൂജ്യത്തിനടുത്തുള്ള HAZ

• സബ്-മൈക്രോൺ കൃത്യത (കുറഞ്ഞത് 1μm ദ്വാരങ്ങൾ)

• പ്രതിഫലിക്കുന്ന/സുതാര്യമായ വസ്തുക്കൾക്ക് അനുയോജ്യം

2. സീറോ-എച്ച്എഎസ് മെക്കാനിസങ്ങൾ

2.1 ഊർജ്ജ കൈമാറ്റ നിയന്ത്രണം

• ഇലക്ട്രോൺ-ലാറ്റിസ് അസന്തുലിതാവസ്ഥയില്ല

• ഘട്ടം സ്ഫോടന ആധിപത്യം

• പ്ലാസ്മ ഷീൽഡിംഗ് സപ്രഷൻ

2.2 മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യൽ മോഡലുകൾ

• കൂലോംബ് സ്ഫോടനം

• നോൺ-തെർമൽ ബോണ്ട് ബ്രേക്കിംഗ്

3. ക്രിട്ടിക്കൽ പ്രോസസ് പാരാമീറ്ററുകൾ

4. അപേക്ഷാ കേസുകൾ

1. ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി പിസിബി മൈക്രോവിയകൾ:

• 20-50μm വ്യാസം

• 10:1 വീക്ഷണാനുപാതം

• റാ

2. ഗ്ലാസ് TSV ഡ്രില്ലിംഗ്:

• പൊട്ടൽ/ടേപ്പർ രഹിതം

• 100 ദ്വാരങ്ങൾ/സെക്കൻഡ്

3. ഫ്ലെക്സിബിൾ സർക്യൂട്ട് പ്രോസസ്സിംഗ്:

• കാർബണൈസേഷൻ-രഹിത PI സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ

• 5μm മിനിമം ലൈൻവിഡ്ത്ത്

5. വെല്ലുവിളികളും പരിഹാരങ്ങളും

വെല്ലുവിളി 1: പ്രതിഫലനാത്മക വസ്തുക്കളുടെ അസ്ഥിരത
പരിഹാരം: ട്യൂൺ ചെയ്യാവുന്ന തരംഗദൈർഘ്യം (343+515nm)

വെല്ലുവിളി 2: കുറഞ്ഞ ഡീപ്പ്-ഹോൾ കാര്യക്ഷമത
പരിഹാരം: ബെസൽ ബീം രൂപപ്പെടുത്തൽ

വെല്ലുവിളി 3: വൻതോതിലുള്ള ഉൽപ്പാദന സ്ഥിരത
പരിഹാരം: തത്സമയ പ്ലാസ്മ നിരീക്ഷണം + അഡാപ്റ്റീവ് നിയന്ത്രണം

6. സ്വഭാവരൂപീകരണ രീതികൾ

• മൈക്രോ-സിടി: 3D രൂപഘടന

• രാമൻ സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പി: ഘട്ടം വിശകലനം

• TEM: ലാറ്റിസ് ഇന്റഗ്രിറ്റി

• ചാലകത പരിശോധന: ചുമരിന്റെ ഗുണനിലവാരം