ການປະມວນຜົນເລເຊີ Femtosecond ສໍາລັບການເຈາະຈຸນລະພາກເຂດທີ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກຄວາມຮ້ອນສູນ
1. ພື້ນຖານ ແລະ ຂໍ້ໄດ້ປຽບ
ເລເຊີ Femtosecond (ຄວາມກວ້າງຂອງກຳມະຈອນ 10-15ວິ) ເຮັດໃຫ້ການດູດຊຶມແບບບໍ່ມີເສັ້ນຜ່ານ:
-
Multi-photon ionization (MPI)
-
Avalanche ionization (AI)
ຜົນປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນ: -
HAZ ໃກ້ສູນ
-
ຄວາມແມ່ນຍໍາຍ່ອຍໄມໂຄຣນ (ຮູຂັ້ນຕ່ຳ 1μm)
-
ເຫມາະສໍາລັບວັດສະດຸສະທ້ອນ / ໂປ່ງໃສ
2. ກົນໄກ Zero-HAZ
2.1 ການຄວບຄຸມການຖ່າຍທອດພະລັງງານ
-
ຄວາມບໍ່ສົມດຸນຂອງເສັ້ນເສັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກ
-
ໄລຍະເດັ່ນຂອງການລະເບີດ
-
ການປ້ອງກັນການສະກັດກັ້ນ plasma
2.2 ຮູບແບບການໂຍກຍ້າຍວັດສະດຸ
-
ການລະເບີດ Coulomb
-
ການທໍາລາຍພັນທະບັດທີ່ບໍ່ແມ່ນຄວາມຮ້ອນ
3. ຕົວກໍານົດການຂະບວນການສໍາຄັນ
ພາລາມິເຕີ | ຊ່ວງ | ກົນໄກ |
---|---|---|
ຄວາມຍາວຄື້ນ | 343-1030nm | ການປັບປຸງການດູດຊຶມ |
ພະລັງງານກໍາມະຈອນ | 0.1-50μJ | ການຄວບຄຸມຂອບເຂດ Ablation |
ອັດຕາການຄ້າງຫ້ອງ | 10kHz-10MHz | ຫຼີກລ່ຽງການສະສົມຄວາມຮ້ອນ |
ສຸມໃສ່ | NA>0.7 | ການຫຼຸດຜ່ອນຂະຫນາດຈຸດ |
ກຳລັງສະແກນ | ເສັ້ນທາງກ້ຽວວຽນ | ການຫຼຸດຊັ້ນຂໍ້ມູນຄືນໃໝ່ |
4. ກໍລະນີຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ
-
Microvias PCB ຄວາມຖີ່ສູງ:
-
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 20-50μm
-
ອັດຕາສ່ວນ 10:1
-
Ra
-
ເຄື່ອງເຈາະແກ້ວ TSV:
-
ຮອຍແຕກ/ບໍ່ມີທໍ່
-
100 ຮູ/ວິນາທີ
-
ການປະມວນຜົນວົງຈອນແບບຍືດຫຍຸ່ນ:
-
ຊັ້ນຍ່ອຍ PI ທີ່ບໍ່ມີກາກບອນ
-
5μm ນທ. linewidth
5. ສິ່ງທ້າທາຍ & ການແກ້ໄຂ
ສິ່ງທ້າທາຍ 1: ຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງວັດສະດຸສະທ້ອນ
ການແກ້ໄຂ: ຄວາມຍາວຄື້ນທີ່ສາມາດປັບໄດ້ (343+515nm)
ສິ່ງທ້າທາຍ 2: ປະສິດທິພາບຂຸມເລິກຕໍ່າ
ການແກ້ໄຂ: Bessel beam shaping
ສິ່ງທ້າທາຍທີ 3: ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການຜະລິດມະຫາຊົນ
ການແກ້ໄຂ: ການຕິດຕາມ plasma ໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງ + ການຄວບຄຸມການປັບຕົວ
6. ວິທີການລັກສະນະ
-
Micro-CT: morphology 3D
-
Raman spectroscopy: ການວິເຄາະໄລຍະ
-
TEM: ຄວາມສົມບູນຂອງເສັ້ນດ່າງ
-
ການທົດສອບການນໍາ: ຄຸນນະພາບຂອງຝາ